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闫大顺; 周强; 蔡懿慈; 洪先龙;
仲恺农业技术学院计算机科学与工程学院;
清华大学计算机科学与技术系;
相移掩模; 交替型相移掩模; 并行算法; 暗域;
机译:使用现有的照片掩模制造能力制造用于EUV照片光刻的自对准交替相移照片掩模的简单方法
机译:使用现有光掩模制造能力制造用于EUV光刻的自对准交替相移光掩模的简单方法
机译:超声清洗导致交替相移掩模失效的动态有限元分析
机译:可聚焦离子束修复对交替相移掩模的石英凸型缺陷的定量评价
机译:用于相移掩模设计的广义逆光刻方法。
机译:尖峰定时中的θ相移和伽马调制振荡:大鼠固定过程中空间交替的动态代码海马区CA1
机译:使用偏振光的交替相移掩模的适用性
机译:开发亮峰增强型X射线相移掩模BpEXpm
机译:形成交替相移电路制造掩模的方法,形成具有相减相移区域的电路制造掩模的方法和相移掩模
机译:利用相位0区域周围的边界区域和相位180区域正类型(CF:clearfield)来确保改进相移掩模(具有不透明开口的透明相移掩模)的方法
机译:使用交替相移掩模和相移微调掩模的集成电路的制造方法
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