Division of Precision Science Technology and Applied Physics, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 567-0871, Japan;
silicon; differential reflectance spectrum; wet cleaning; surface strain;
机译:差分反射光谱测量以评估湿法清洁工艺引入的缺陷
机译:通过对湿物料进行衰减全反射傅立叶变换红外(ATR FT-IR)测量定量评估浸水木材化学成分的新方法
机译:具有不同晶体取向的氢封端的硅表面的差分反射光谱的测量和计算
机译:差分反射谱测量,以评估湿式清洁过程引入的缺陷
机译:使用差分电容测量来计算纳米晶体和非晶硅器件中的缺陷密度。
机译:临床肺癌分期的CT评估:与轴向测量相比多平面测量能更好地反映病理性T分期吗?
机译:湿手动清洁工艺与半导体工业中二氧化碳清洁工艺的比较
机译:多工艺湿法清洗:传统干洗和替代工艺的成本和性能比较