Department of Electrical Engineering Indian Institute of Technology Hyderabad Kandi Sangareddy Telangana 502285 India;
Dry etching; Plasmas; Radio frequency; Microstructure; Metals; Scanning electron microscopy;
机译:氧等离子体抗灰化过程中Cr_2O_3 / Cr叠层膜的干蚀
机译:基于快速转移的丝绸微结构微图案化和干蚀刻
机译:氧基感应耦合等离子体中非晶全氟聚合物薄膜的各向异性刻蚀
机译:使用氧等离子体灰化的压电丝微结构选择性各向异性干蚀刻
机译:用于高选择性和各向异性蚀刻的下游和直血浆系统的建模
机译:基于快速转移的微图案化和丝微观结构的干蚀刻
机译:Ge的选择性和各向异性干蚀刻ey
机译:CHF(3)和氧等离子体中siC的各向异性和选择性反应离子刻蚀