KLA-Tencor;
KLA-Tencor;
KLA-Tencor;
KLA-Tencor;
Imec;
Imec;
Imec;
DSA; graphoepitaxy; SCFT; calibration; physical modeling;
机译:有向自组装的接触孔收缩与倍增的计算研究
机译:接触孔内的位错倍增
机译:具有多个图案化的DSA有效布局分解方法,在接触孔中
机译:用于接触孔乘法的DSA Graphoepitaxy校准
机译:使用多个校准源对Landsat 4和5专题测绘仪的反射带进行辐射度校准。
机译:连续校准改进:LANDSAT 5到LANDSAT 8
机译:电气通过链条产量进行DSA接触孔收缩过程