Tokyo Electron Ltd. 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki City,Yamanashi, Japan;
Tokyo Electron Ltd. 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki City,Yamanashi, Japan;
Tokyo Electron Ltd. 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki City,Yamanashi, Japan;
Tokyo Electron Ltd. 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki City,Yamanashi, Japan;
Tokyo Electron Ltd. 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki City,Yamanashi, Japan;
Tokyo Electron Ltd. 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki City,Yamanashi, Japan;
Tokyo Electron Ltd. 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki City,Yamanashi, Japan;
Tokyo Electron Ltd. 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo, Japan;
Self-aligned multiple patterning; SADP; SAQP; SAMP; LER; local CDU; pattern fidelity;
机译:工艺参数对自对准多重构图工艺图形形成的影响
机译:交替材料自对准多重构图的工艺开发和边缘放置良率建模
机译:具有自对准多重图案化过程的扩展能力
机译:自对准多个图案化过程中的总保真管理
机译:Stagioni:温度管理可实现视觉和成像工作负载的性能,保真度和能源效率的近传感器处理
机译:优化的基于ARROW的MMI波导用于高保真激励模式实现光流复用
机译:通过自对准多个图案化过程使缩放功能能够实现