SEMES, Cheonan, South Korea;
cleaning; photoresists; plasma immersion ion implantation; advanced semiconductor manufacturing; atmospheric pressure plasma unit; dry ashing; high-dose ion-implanted photoresists; in-situ cleaning; moderate-temperature wet cleaning; single-wafer single-chamber combined dry and wet system; single-wafer spin-cleaning system; stripping;
机译:新型单晶片单室干湿混合系统,用于大剂量离子注入光刻胶的剥离和原位清洗
机译:使用单晶片,单室干/湿混合系统剥离和清洁高剂量离子注入的光致抗蚀剂
机译:使用单晶片,单腔干/湿混合系统剥离和清洁大剂量离子注入光刻胶
机译:用于剥离的新型单晶片,单室组合干燥和湿系统,以及高剂量离子植入光致抗蚀剂的原位清洗
机译:使用实时光谱椭圆偏振法原位控制和监视图案化半导体的干法和湿法蚀刻。
机译:基于干膜光致抗蚀剂的电化学微流控生物传感器平台:设备制造芯片上分析准备和系统操作
机译:使用单晶圆,单室干/湿混合系统剥离和清洗高剂量离子注入光刻胶
机译:湿式换热器的传热传质研究。第1部分:用于计算干/湿操作中换热器性能的近似传热传质模型的公式