SPP Process Technology Systems UK Limited, Imperial Park, Newport, UK;
SPP Process Technology Systems UK Limited, Imperial Park, Newport, UK;
SPP Process Technology Systems UK Limited, Imperial Park, Newport, UK;
DRIE (deep reactive ion etching); HAR (high aspect ratio). MEMS; silicon; parameter ramping;
机译:一步开发DRIE干法工艺,可无限制地制造已发布的MEMS器件
机译:用于MEMS器件和结构的DRIE / DSE处理的当前趋势
机译:金相和SEM分析在DRIE处理的MEMS器件中侧壁表面表征中的应用
机译:Drie开发下一代MEMS设备
机译:DRIE CMOS-MEMS工艺和集成加速度计的开发。
机译:CMOS-MEMS / NEMS器件开发专刊社论
机译:通过Bonding-DRIE工艺制作的梳状电容器mEms器件的广义热设计模型:初步框架
机译:DRIE CmOs-mEms陀螺仪的制作,表征和分析