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Advanced materials and technologies for micro/nano-devices, sensors and actuators
Advanced materials and technologies for micro/nano-devices, sensors and actuators
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1.
SMART SENSORS: ADVANTAGES AND PITFALLS
机译:
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作者:
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会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
smart sensors;
silicon processing;
integration;
2.
THE IMPACT OF DIELECTRIC MATERIAL AND TEMPERATURE ON DIELECTRIC CHARGING IN RF MEMS CAPACITIVE SWITCHES
机译:
介电材料和温度对RF MEMS电容开关中介电充电的影响
作者:
GEORGE PAPAIOANNOU
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
dielectrics;
charging;
RF MEMS;
3.
MODELING OF DRY ETCHING IN PRODUCTION OF MEMS
机译:
MEMS生产中的干刻蚀建模
作者:
ALEXANDER RUSAKOV
;
PETER BYSTROV
;
REY KNIZHNIK
;
BORIS POTAPKIN
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
MEMS;
dry etching;
etching reactor;
gas transport;
sticking coefficient;
sacrificial layer;
numerical modeling;
4.
INTEGRATION OF DIVERSE BIOLOGICAL MATERIALS IN MICRO/NANO DEVICES
机译:
在微/纳米装置中整合多种生物材料
作者:
REZA GHODSSI
;
PETER DYKSTRA
;
MARIANA MEYER
;
STEPHAN KOEV
;
KONSTANTINOS GERASOPOULOS
;
XIAOLONG LUO
;
GARY RUBLOFF
;
WILLIAM BENTLEY
;
GREGORY PAYNE
;
JAMES CULVER
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
MEMS;
chitosan;
tobacco mosaic virus;
biosensors;
lab on a chip;
5.
FORCE SENSING OPTIMIZATION AND APPLICATIONS
机译:
力感优化与应用
作者:
JOSEPH C. DOLL
;
SUNG-JIN PARK
;
ALIJ. RASTEGAR
;
NAHID HARJEE
;
JOSEPH R. MALLON JR.
;
GINEL C. HILL
;
A. ALVIN BARLIAN
;
BETH L. PRUITT
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
MEMS;
piezoresistance;
cantilever;
force sensor;
noise;
design;
optimization;
6.
MONOCRYSTALLINE-SILICON MICROWAVE MEMS DEVICES: MULTI-STABLE SWITCHES, W-BAND PHASE SHIFTERS, AND MEMS TUNEABLE FREQUENCY-SELECTIVE SURFACES
机译:
单晶硅微波MEMS器件:多稳态开关,W波段移相器和MEMS可调谐频率选择表面
作者:
JOACHIM OBERHAMMER
;
MIKAEL STERNER
;
NUTAPONG SOM.IIT
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
RF MEMS;
phase shifter;
microswitch;
high-impedance surface;
mono-rystalline silicon;
7.
DEVELOPMENT OF DRIE FOR THE NEXT GENERATION OF MEMS DEVICES
机译:
用于下一代MEMS设备的DRIE的开发
作者:
H. ASHRAF
;
J. HOPKINS
;
L.M. LEA
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
DRIE (deep reactive ion etching);
HAR (high aspect ratio). MEMS;
silicon;
parameter ramping;
8.
LOW-TEMPERATURE PROCESSES FOR MEMS DEVICE FABRICATION
机译:
MEMS器件制造的低温过程
作者:
JYRKI KIIHAMAEKI
;
HANNU KATTELUS
;
MARTTIBLOMBERG
;
RIIKKA PUURUNEN
;
MARI LAAMANEN
;
PANU PEKKO
;
JAAKKO SAARILAHTI
;
HEINI RITALA
;
ANNA RISSANEN
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
MEMS;
thin film technology;
fusion bonding;
amorphous metals;
HF-vapour etching;
9.
HIGH-TEMPERATURE STABLE AU-SN AND CU-SN INTERCONNECTS FOR 3D STACKED APPLICATIONS: ADVANCED PROCESSES AND MATERIALS
机译:
适用于3D堆叠应用的高温稳定AU-SN和CU-SN互连:高级工艺和材料
作者:
NILS HOIVIK
;
HE LIU
;
KAIYING WANG
;
GUTTORM SALOMONSEN
;
KNUT AASMUNDTVEIT
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
MEMS;
3D integration;
wafer level packaging;
SLID bonding;
wafer bonding.;
10.
3D INTEGRATION OF MEMS AND IC: DESIGN, TECHNOLOGY AND SIMULATIONS: ADVANCED PROCESSES AND MATERIALS
机译:
MEMS和IC的3D集成:设计,技术和仿真:高级工艺和材料
作者:
MAAIKE M.V. TAKLO
;
KARI SCHJOLBERG-HENRIKSEN
;
NICOLAS LIETAER
;
JOSEF PRAINSACK
;
ANDERS ELFVING
;
JOSEF WEBER
;
MATTHIAS KLEIN
;
PETER SCHNEIDER
;
SVEN REITZ
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
MEMS;
3D integration;
wafer level packaging;
design;
wafer bonding;
gold stud bump bonding;
TSV;
simulation;
11.
LOW-FREQUENCY ELECTRONIC NOISE IN THE BACK-GATED AND TOP-GATED GRAPHENE DEVICES
机译:
后向和后向石墨烯装置中的低频电子噪声
作者:
GUANXIONG LIU
;
QINGHUI SHAO
;
ALEXANDER A. BALANDIN
;
WILLIAM STILLMAN
;
MICHAEL SHUR
;
SERGEY RUMYANTSEV
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
graphene;
graphene transistors;
top-gate graphene devices;
low-frequency noise;
flicker-noise;
1/f noise;
carrier number fluctuation;
Hooge parameter of graphene;
electron mobility.;
12.
XRD AND RAMAN STUDY OF LOW TEMPERATURE AlGaAs/GaAs (100) HETEROSTRUCTURES
机译:
AlGaAs / GaAs(100)低温异质结构的XRD和拉曼研究
作者:
PAVEL SEREDIN
;
ANTON GLOTOV
;
EVELINA DOMASHEVSKAYA
;
IVAN ARSENTYEV
;
DMITRY VINOKUROV
;
ALEKSEY STANKEVICH
;
ILYA TARASOV
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
low temperature heterostructures;
AlGaAs;
XRD;
Raman backscattering.;
13.
VERTICALLY INTEGRATED MEMS SOI COMPOSITE POROUS SILICON-CRYSTALLINE SILICON CANTILEVER-ARRAY SENSORS: CONCEPT FOR CONTINUOUS SENSING OF EXPLOSIVES AND WARFARE AGENTS
机译:
垂直集成的MEMS SOI复合多孔硅-晶体硅悬臂-阵列传感器:连续检测炸药和炸药的概念
作者:
SARA STOLYAROVA
;
ARIEL SHEMESH
;
OREN AHARON
;
OMER COHEN
;
LIOR GAL
;
YOAV EICHEN
;
YAEL NEMIROVSKY
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
composite cantilever;
vertically integrated cantilevers;
crystalline-silicon and porous silicon;
MEMS cantilever arrays;
sensing explosives;
sensing chemical warfare agents;
14.
CHALLENGES OF COMPLETE CMOS/MEMS SYSTEMS INTEGRATION
机译:
完整CMOS / MEMS系统集成的挑战
作者:
VLADIMIR VAGANOV
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
CMOS MEMS integration;
pressure sensor;
accelerometer;
piezoresistor;
piezo-transistor;
micro-structure;
multi-sensor micro-systems;
inertial measurement unit;
sensitive integrated circuits;
principle of multi-axis measurements.;
15.
INTERNAL STRESSES IN MARTENSITE FORMATION IN COPPER BASED SHAPE MEMORY ALLOYS
机译:
基于铜的形状记忆合金中马氏体形成的内部应力
作者:
OSMAN ADIGUZEL
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
martensitic transition;
shape memory effect;
bain distortion;
layered structures;
internal stresses;
shear stress;
thermoelasticity;
superelasticity.;
16.
HISTORY OF EARLY RESEARCH ON MEMS IN RUSSIA (U.S.S.R.)
机译:
俄罗斯MEMS的早期研究历史(U.S.R.R.)
作者:
VLADIMIR VAGANOV
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
microsensor;
pressure sensor;
accelerometer;
piezoresistor;
piezo-transistor;
micro-structure;
sensitive integrated circuits;
17.
MEMS FOR PRACTICAL APPLICATIONS
机译:
MEMS实际应用
作者:
MASAYOSHI ESASHI
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
MEMS;
microphone;
packaging;
gyroscope;
optical scanner;
integrated sensor. Pressure sensor;
switch;
probe card;
LTCC;
SiC;
SAW (Surface Acoustic Wave). LiNbO_3;
transponder;
18.
MICROWAVE AND MILLIMETRE WAVE DEVICES BASED ON MICROMACHINING OF III-V SEMICONDUCTORS
机译:
基于III-V型半导体微加工的微波和毫米波设备
作者:
ALEXANDRU MULLER
;
DANNECULOIU
;
GEORGEKONSTANTINIDIS
;
TAUNO VAEHAE-HEIKILA
会议名称:
《》
|
2009年
关键词:
Filter, receiver, antenna, micromachining, membrane;
19.
NANOCHIP: A MEMS-BASED ULTRA-HIGH DATA DENSITY MEMORY DEVICE
机译:
NANOCHIP:基于MEMS的超高数据密度存储设备
作者:
NICKOLAI BELOV
;
DONALD ADAMS
;
PETER ASCANIO
;
TSUNG-KUAN CHOU
;
JOHN HECK
;
BYONG KIM
;
GORDONKNIGHT
;
QING MA
;
JONG-SEUNG PARK
;
VALLURI RAO
;
ROBERT STARK
;
GHASSAN TCHELEPI
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
probe storage;
non-volatile memory;
ferroelectric memory;
scanning probe charge reading;
MEMS;
CMOS-MEMS integration;
micro-mover;
20.
THREE-DIMENSIONAL PHOTONIC CRYSTALS BASED ON OPAL-SEMICONDUCTOR AND OPAL-METAL NANOCOMPOSITES
机译:
基于蛋白石-半导体和蛋白石纳米复合材料的三维光子晶体
作者:
VALERY G. GOLUBEV
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
photonic crystal;
synthetic opal;
photonic band gap;
semiconductor;
metal;
emitting properties;
optical switching;
phononic band gap;
21.
PATH FOLLOWING AND NUMERICAL CONTINUATION METHODS FOR NON-LINEAR MEMS AND NEMS
机译:
非线性MEMS和NEMS的路径跟踪及数值连续方法
作者:
PETER G. STEENEKEN
;
JIRI STULEMEIJER
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
non-linear MEMS;
capacitive MEMS;
finite-element method;
22.
LOW COST SILICON CORIOLIS' GYROSCOPE PAVES THE WAY TO CONSUMER IMU
机译:
低成本硅钙硅石的陀螺仪为消费IMU铺平了道路
作者:
BENEDETTO VIGNA
;
FABIO PASOLINI
;
ROBERTO DE NUCCIO
;
MACRO CAPOVILLA
;
LUCIANO PRANDI
;
FABIO BIGANZOLI
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
accelerometer;
gyroscope;
inertial navigation unit (INU);
inertial measurement unit (IMU);
micromachining;
MEMS;
23.
PULL-IN DYNAMICS OF ELECTROSTATICALLY ACTUATED BISTABLE MICRO BEAMS
机译:
静电致动双稳态微梁的拉入动力学
作者:
SLAVAKRYLOV
;
NIR DICK
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
curved micro beam;
electrostatic actuation;
dynamic stability;
dynamic snap- through;
dynamic pull-in;
bistability;
phase-plane analysis;
24.
USING PARAMETRIC RESONANCE TO IMPROVE MICRO GYRSOCOPE ROBUSTNESS
机译:
利用参数共振改善微陀螺的结实度
作者:
LAURA OROPEZA-RAMOS
;
CHRISTOPHER B. BURGNER
;
KIMBERLY L.TURNER
会议名称:
《Advanced materials and technologies for microano-devices, sensors and actuators》
|
2009年
关键词:
gyroscope;
MEMS;
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