Laboratory for Bio- and Nano- Instrumentation, Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne, Lausanne, Switzerland;
Laboratory for Bio- and Nano- Instrumentation, Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne, Lausanne, Switzerland;
Laboratory for Bio- and Nano- Instrumentation, Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne, Lausanne, Switzerland;
Laboratory for Bio- and Nano- Instrumentation, Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne, Lausanne, Switzerland;
Biophysik department, ETH Zürich, Basel, Switzerland;
Laboratory for Bio- and Nano- Instrumentation, Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne, Lausanne, Switzerland;
Polymers; Imaging; Silicon; Silicon compounds; Bandwidth; Probes; Aluminum;
机译:互补金属氧化物半导体场效应晶体管兼容的原子力显微镜尖端制造工艺和利用该工艺制造的集成原子力显微镜悬臂
机译:力匹配方法,通过原子力显微镜用金刚石尖的蓝宝石悬臂进行定量硬度测量
机译:分批制造的扫描近场光学显微镜/原子力显微镜微探针与压阻悬臂梁集成,具有高度可重复的聚焦离子束微加工孔径
机译:具有集成硬提示的多层聚合物悬臂器的批量制造用于高速原子力显微镜
机译:高速AFM(原子力显微镜)通过微成型和图案转移到聚合物衍生的陶瓷上而形成悬臂。
机译:在分批制造过程中将尖锐的氮化硅尖端集成到高速SU8悬臂中
机译:注意:高速Z尖端扫描器带有螺旋悬臂保持机构,用于液体中的原子分辨率原子力显微镜
机译:原子力显微镜作为基于Gaas的集成电路制造的工艺表征工具