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温志渝;
重庆大学;
重庆630044;
国家教委光电技术及系统开放实验室;
硅微悬臂梁; 融合式传感器; 微细加工技术;
机译:国土防御中的摩尔定律:基于硅微悬臂梁的集成传感器平台
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机译:监测微小共振频率变化的新表征方法:使用未涂覆的基于硅微悬臂梁的传感器进行氢检测时的实验测试
机译:集成传感器和执行器系统的硅微加工和微制造技术
机译:先进的材料集成和加热的微悬臂梁和微悬臂梁阵列的热运行。
机译:基于硅磁敏晶体管的单片集成二维磁场传感器的制造技术和特性研究
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机译:用干涉偏转测量法表征多晶硅微悬臂梁产生弯矩的机理
机译:膜片集成抗磁微悬臂梁传感器
机译:光学微悬臂梁,其制造方法以及光学微悬臂梁支架
机译:光学微悬臂梁及其制造方法和光学微悬臂梁支架
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