Nanophase Technologies Corporation 1319 Marquette Drive, Romeoville, IL 60446, USA;
EUV lithography; ceria; glass polishing;
机译:EUV光刻:高NA EUV光学器件正在发展中
机译:中红外光学元件:CVD金刚石红外光学元件可实现EUV光刻
机译:紫外线光学:极致光学-在极紫外光刻中
机译:纳米二氧化铈在EUV光刻光学抛光中的使用
机译:由温度和浓度梯度驱动的吉布斯偏析合金:EUV光刻中潜在的掠射收集器光学器件。
机译:高敏感性抗蚀性对EUV光刻进行抗衡性:材料设计策略和绩效结果综述
机译:<标题> EUV光刻环形投影光学元件的新型冷凝器标题>
机译:用于EUV光刻环场投影光学系统的新型聚光器