平板极限电流型氧传感器温等静压工艺研究及氧敏性能测试

摘要

采用叠层静压工艺制备了平板极限电流型氧传感器.通过正交试验法研究了预热时间、静压压力、温度、保温保压时间对片层之间结合力的影响.结果表明在加热器层涂覆一定的粘结剂,温等静压条件为80℃预热15min后20MPa下保压1Omin,片层之间结合最紧密,且烧结之后无裂纹、翘曲和分层现象.气敏测试结果表明所制备的氧传感器在较宽的氧气范围内(0.01％-18.9％)均可得到明显的极限电流平台,最高电流能达到3.67mA,且极限电流与氧气浓度呈现很好的线性关系.