氧化铝氧化锆共烧结制备极限电流型氧传感器

摘要

本文采用氧化铝氧化锆高温共烧结陶瓷技术制备了一种极限电流型氧传感器,将8mol％氧化钇稳定的氧化锆固体电解质流延膜片、氧化铝流延膜片、加热器叠层热压并一次共烧成一体.与传统共烧结制作工艺相比,采用氧化铝流延膜片替代丝网印刷的氧化铝厚膜制作绝缘层,因而具有更好的绝缘性.制作的传感器加热功率为1.8W,工作电压为1.6V,测量范围为1％O2～95％O2,精度小于±0.5％,响应时间小于8s.传感器的输出电流长期稳定,在空气中830天的变化量小于初始值的2％,对应的氧浓度变化量在0.4％以内.