硅纳米晶光学常数随温度变化特性研究

摘要

本文自行研制了一套可控变温样品室装置，对硅纳米晶薄膜进行加热实验，并基于洛伦兹色散模型，对实验获得的椭偏参数进行拟合，得到不同温度下的nc-Si和SiO2的复合层折射率随温度的变化关系。实验结果表明镶嵌在二氧化硅中的硅纳米晶在不同温度下，椭偏参数有规律的变化。发合膜层的光学折射率n随着温度的升高有线性增大趋势。这些数据在硅基微纳光子学器件的研究中有参考价值。