酸蚀刻单晶硅片粗糙度研究

摘要

由于电力电子器件的市场对酸腐蚀片的需求，如何制备低粗糙度的酸腐蚀片越来越研究受到关注，而酸腐蚀工艺对粗糙度的影响却鲜有报道。本文讨论的酸腐蚀工艺对腐蚀片粗糙度的影响，发现随着腐蚀厚度的增加酸腐片的粗糙度越来越小；而随着温度的升高酸腐片的粗糙度变小；腐蚀较多硅片的腐蚀液腐蚀硅片粗糙度较大。