CVD合成钻石的研究进展

摘要

对11颗高温高压合成钻石种晶进行了不同CH4/H2比例、温度和压强下的CVD生长实验.生长后的样品经过了红外光谱定量分析和拉曼光谱分析,并对样品表面的微形貌进行了观察.结果表明,合成的CVD钻石有一定的内应力,晶体质量与高温高压种晶质量相似.过高的CH4/H2比例对CVD钻石的生长无明显促进作用,会增加C-H缺陷,抑制钻石的快速生长.同时,温度对CVD钻石的生长速度和生长模式起着重要的作用,适当提高合成温度有助于钻石生长台阶的形成以及生长速率的提高.