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朱海龙; 童洪辉; 叶高英; 陈伦江;
中国电工技术学会;
中国电子学会;
感应耦合热等离子体; 氩气; 速度分布; 参数指标;
机译:评论“电子能量分布对感应耦合等离子体中氩气总能量损失的影响”。 Plasmas 22,013501(2015)]
机译:钛原料注入过程中氩气感应热等离子体炬中钛蒸气混合比的空间分布
机译:光学测定的电感耦合等离子体质谱仪第二阶段的亚稳氩气速度分布
机译:光谱诊断氩气RF感应热等离子体火炬的光谱诊断
机译:使用能量和高能“快速”电子的密度测量亚稳态原子密度,电子能量分布函数中检测到与射频感应耦合等离子体氦放电产生的余辉等离子体相关的电子能量分布函数
机译:氩气和氩气/氧气等离子体从水溶液中去除四氯乙烯(PCE)的性能比较研究:优化和动力学研究
机译:氩气与氢化氩脉冲调制感应热等离子体瞬态特性的比较研究
机译:分析物种在感应耦合氩等离子体中经历的激发温度和电子数密度分布
机译:具有高密度的均匀等离子体密度分布的感应耦合等离子体天线,不会造成损伤,并且具有相同特性的感应耦合等离子体处理设备
机译:能够将等离子均匀分布到腔室内的感应耦合等离子体发生装置的天线和具有相同功能的感应耦合等离子体发生装置
机译:在调节等离子体分布时通过气体分布板感应耦合功率的等离子体过程
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