基于PDMS薄膜的热驱动式微阀仿真分析

摘要

利用ANSYS10.0软件对热驱动式PDMS微阀进行了热-结构耦合仿真，分别对不同结构尺寸的加热器、腔体结构及PDMS薄膜进行仿真，得到了微阀的优化结构参数。仿真结果表明：加热器电阻条宽度与间距的减小更有利于热量的集中，当达到0.4mm以后其温度分布基本保持不变；随着腔体半径的增加，PDMS薄膜的挠度明显提高；伴随PDMS薄膜厚度的增加，薄膜的轴向位移出现不规则变化。本文的仿真结果为基于PDMS薄膜的热驱动式微阀设计提供了有价值的参考数据。