热驱动薄膜式微型泵的模拟与实验

摘要

为了了解热驱动薄膜式微型泵的性能，对泵的主要部件进行了分析，然后对泵的整体性能进行了模拟。得到了微型泵的频率特性及流量随功率的变化。发现泵的流量在 ３．３ Ｈｚ左右达到最大。膜片的预应力对泵的性能有重要影响。功率小时，预应力使流量降低，功率大时，预应力使流量增加。泵的流量与输入功率的比值与输入功率的关系曲线有最大值，约在 １．２～１．８ Ｗ之间。实验测定了微型泵的频率和功率特性，模拟结果与实测结果基本吻合。