电极间距对微晶硅薄膜沉积速率及性能的影响rn*

摘要

本文在平板电极结构的腔室中,研究了电极间距的变化对微晶硅材料的沉积速率、晶化率和电学性能的影响.研究发现,在一定范围内,通过适当增大电极间距可以有效提高沉积速率,但微晶硅材料的电学性能却受到较大的影响.综合考虑沉积速率和材料性能,在沉积速率为1.5nm/s、电池厚度为1.2μm时,获得转换效率为8.17%单结微晶硅电池.