溶胶-凝胶法制备Al掺杂ZnO纳米颗粒膜及其电学特性研究

摘要

本文采用溶胶-凝胶法,选择二水合乙酸锌(Zn(CH中文3COO)2·2H2O)作为前驱体,无水乙醇为溶剂,乙醇胺(MEA)作为络合剂(ZnAc:MEA=1:1.5),硝酸铝(Al(NO3)3·9H2O)作为Al掺杂来源,配制出锌离子浓度为0.8mol/L并具有不同Al掺杂浓度(0～10%)的透明均质溶胶.分别在玻璃和硅片衬底上成功制备出ZnO薄膜,平均晶粒尺寸在纳米级别.不同浓度的Al掺杂(1-10%)均能提高其导电性能,Al掺杂浓度为1-2%时ZnO薄膜Al掺杂水平相对较高,电阻率显著降低,在掺杂浓度为2%时具有最小值0.671Ω·cm.