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王韬; 卢红亮; 杨建国; 刘文军; 张卫;
上海市真空学会江苏省真空学会安徽省真空学会浙江省真空学会;
薄膜晶体管; 非晶铟镓锌氧半导体; 直流磁控溅射; 叠层结构; 电学特性; 稳定性评价;
机译:超柔非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜晶体管
机译:氧等离子体处理的高性能溶液沉积非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管
机译:超柔性非晶铟 - 镓 - 氧化锌(A-IGZO)薄膜晶体管
机译:基于非晶铟镓锌氧化物的薄膜晶体管和电路。
机译:非晶铟 - 镓 - 氧化锌膜质量与薄膜晶体管性能的相关性研究
机译:非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜晶体管的频率相关电容-电压曲线的解释
机译:用于开发高性能纳米晶氧化锌薄膜晶体管的减法等离子体辅助蚀刻工艺。
机译:具有显影表面的铟镓锌氧化物半导体(IGZO)的透明非晶层的制造方法
机译:包括铟镓锌氧化物(IGZO),金属和IGZO的多层薄膜结构的透明薄膜晶体管及其制造方法
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