透明薄膜折射率及膜层厚度的数值反演

摘要

介绍椭偏法测量单层透明薄膜折射率和厚度的方法,采用网格法和牛顿迭代法反演得到透明薄膜的折射率和厚度.应用C++语言对网格法和牛顿迭代法编程,在不同预估值的情况下,拟合入射波长为632μm时二氧化硅薄膜的折射率和膜厚.结果表明:两种反演算法均可行.