基于硅MEMS工艺的窄带带通滤波器的设计

摘要

微波带通滤波器是微波通信系统中的关键器件.本文设计了一种利用硅MEMS腔体技术制作的微波窄带带通滤波器.采用交指结构四分之一波长短路谐振器级联结构,利用电磁场仿真设计软件HFSS进行了设计、建模、仿真和优化,得到了一款具有小型化、高抑制度、低插损、好的电磁屏蔽且易于集成等优点的硅MEMS腔体带通滤波器.