间隙柱下薄膜晶体管的应力模拟分析

摘要

在液晶显示器中,散布在显示区起支撑作用的间隙柱(PS)通常站立在薄膜晶体管(TFT)上,对TFT会产生一定的压力.文章通过"Abaqus"软件建立PS-TFT3D模型进行有限元模拟,得到了不同总变形量下单颗PS和TFT各层材料的应力大小和分布状况,结果表明总变形量越大,TFT各层材料应力越大,总变形量为0.34～0.64μm,各层应力范围为30～250Mpa.研究结果对如何降低PS对TFT的压力及PS设计有一定的参考意义.