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亲水性固结磨料研磨抛光垫的自修正机理及其实现

摘要

修正特性是亲水性FAP的突出特点,其自修正过程的定量表述是指导亲水性FAP参数设计和加工工艺参数制订的基础.本项目主要开展了五个方面的研究,分别为:亲水性FAP的特征指标及其评价方法;FAP表面各种特征元素的图像特征识别及磨粒保持率的计算;磨粒的表面镀覆工艺及其对磨粒支持率的影响;亲水性FAP自修正的实现机理及抛光工艺优化;亲水性FAP抛光加工的亚表面损伤形成机理.

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