基于三维纳米定位平台的扫描近场光学显微镜

摘要

在开展扫描近场光学显微镜中关键技术研究基础上，比如三维纳米定位平台、光纤探针的制备方法以及探针、样品间距的近场测控技术等，建立了一套与倒置光学显微镜联合使用，具有多种工作模式并能与光谱联用的近场光学显微镜，可同时获得样品表面形貌和近场光学图像，利用这套系统获得了光盘样品、测试光栅的切变力形貌像以及CD-R光盘的切变力形貌像和近场光学像。