透明导电铟铋氧化物薄膜的制备及其性能研究

摘要

采用经过改良的真空热蒸发法,在抛光玻璃衬底上制备出了掺铋的透明导电钢铋氧化物薄膜(IBO)。运用扫描电镜(SEM)及XMS对薄膜的形貌及其成分进行了分析及表征；通过紫外-可见分光光度计、霍尔效应测试仪及四探针法对薄膜的光电性质进行了研究:并采用开尔文探针对IBO进行了功函数测试。结果表明IBO薄膜具有良好的表面形貌,较高的载流子迁移率；较高的功函数且其在可见光范围内的平均透光率超过82%。采用其作为阳极制作的有机电致发光器件(OLED)表现出良好的工作特性。我们的实验结果表明IBO是一种良好的光电器件阳极替代材料。