白光共焦三维形貌仪在表面工程研究中的应用

摘要

白光共焦三维形貌仪是近年来发展起来的在科学研究和工业领域广泛应用的先进表面测量设备,测量精度高,测量范围大,具有数字化表面形貌功能,作为一种非接触式表面分析方法,为生产和质量控制的发展和研究提供精密准确的全方位解决方案。本文在大量试验的基础上,介绍白光共焦三维形貌仪的测量原理,探讨其在表面工程研究中应用可能性。