首页> 中文会议>2000年中国博士后学术大会 >掺杂纳米硅薄膜微结构的研究

掺杂纳米硅薄膜微结构的研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本研究采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)方法成功地沉积出掺杂(主要是磷、硼)纳米硅(nc-Si:H)薄膜.利用高分辨电镜(HREM)、Raman散射、X射线衍射(XRD)、俄歇电子谱(AES)和共振核反应(RNR)等手段对掺入不同杂质(主要是磷、硼)后的纳米硅薄膜的微结构进行系统的研究.

著录项

来源
《2000年中国博士后学术大会》|2000年|414-419|共6页
会议地点北京
作者
王金良; 刚毅; 王天民;
展开▼
作者单位

中国科学技术协会;

中国博士后科学基金会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
纳米硅; 固体纳米材料; 俄歇电子谱;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 掺杂纳米硅薄膜微结构的研究 [J] . 王金良 ,徐刚毅 ,王天民 . 自然科学进展 . 2001,第003期
2. 工艺条件对硼掺杂纳米硅薄膜微结构及力学性能的影响 [J] . 丁建宁 ,祁宏山 ,袁宁一 . 真空科学与技术学报 . 2009,第2期
3. 特种化学气相沉积法制备大面积纳米硅薄膜的微结构和电学性能研究 [J] . 张溪文 ,韩高荣 . 真空科学与技术 . 2001,第5期
4. 硼掺杂纳米硅薄膜的热退火效应研究 [J] . 林泽文 ,宋超 ,王祥 . 韩山师范学院学报 . 2011,第006期
5. 纳米氧化铟和稀土共掺杂二氧化硅薄膜的结构和光学性质研究 [J] . 林涛 ,万能 ,徐骏 . 红外与毫米波学报 . 2008,第003期
6. 掺杂纳米硅薄膜微结构的研究 [C] . 王金良 ,徐刚毅 ,王天民 . 第十二届全国半导体物理学术会议 . 1999
7. APCVD法掺杂制备硅薄膜及其微结构与性能研究 [A] . 詹宝华 . 2006

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号