辐照离子在固体材料中的射程和损伤解析模拟计算

摘要

该文运用LSS的理论结合一定的简化势模型得到了辐照离子在固体材料中的射程和损 伤的解析式，并将之程度化。计算了质子和He离子以不同能量和注量入射Si,MgO,TiO<,2>的射程和损伤度，并与trim96程序计算结果和实验值进行了比较，较trim96程序计算值大，但与实验值更好地符合。