滞止火焰直接合成纳米TiO2薄膜CO传感器的实验研究

摘要

使用固定板滞止火焰直接合成纳米二氧化钛(TiO2)薄膜,并制作CO传感器.实验结果表明,TiO2颗粒粒径随前驱物浓度升高而增大,前驱物浓度为500ppm时对应粒径约为10nm;前驱物浓度一定时,膜厚增长速率随时间呈现先增加后减小趋势；滞止火焰直接合成纳米TiO2薄膜方法得到传感器性能比较稳定,对CO气体灵敏度较好.随测试温度升高,传感器的灵敏度先升后降,在500oC左右最高。