长线列InGaAs短波红外探测器技术研究

摘要

利用单片256元线列InGaAs探测器芯片和COMS集成读出电路芯片,采用精密立体拼接的方法,研制出1024/3000元长线列InGaAs短波红外探测器组件.组件光响应谱段范围为0.92μm-2.2μm,光敏元尺寸30μm,波段探测率D*Δλ达到1×1012cmHz1/2W-1,组件响应度大于4×108V/W,信噪比大于700倍,动态范围大于50dB,响应率非均匀性小于6%,盲元率小于3%,工作温度在室温或150K.探测器组件成像清晰,图像衔接自然,效果良好,成像质量可满足系统应用要求.该组件在高分辨率航天遥感、武器制导、红外报警和识别、侦查与监视等领域有广泛的应用前景.