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硫鎓盐光产酸剂的制备、纯化及其在248-nm光致抗蚀剂中的应用

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本研究以α-溴代苯乙酮、四氢噻吩、三氟甲磺酸及九氟丁基磺酸钾等为原料,制备了两种硫鎓盐化合物.由于这类产物在应用中对金属离子含量的要求极高,实验中反复进行了纯化.并且使用石英、聚四氟乙烯器皿以减少金属离子的引入.目前已将产物的金属离子含量控制在了ppm水平.这类硫鎓盐可作为光产酸剂应用于化学增幅型248-nm光致抗蚀剂材料.

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来源
《中国感光学会第八届五次理事会暨2013年学术年会》|2013年|81-84|共4页
会议地点天津
作者
QIAO Yu; 乔瑀; WANG Li-yuan; 王力元;
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作者单位

中国感光学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类生产工艺;
关键词
硫鎓盐光产酸剂; 合成工艺; 提取纯化; 光致抗蚀剂;

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