透射电子显微镜中可控纳米精度电子束刻蚀与原位电学输运性质测量

摘要

作者发明了一种利用透射电子显微镜会聚电子束的刻蚀方法.这种方法具有亚纳米量级刻蚀可控精度,并适合多种材料(如石墨烯,纳米线等),非常适合于用来制备量子纳米器件.并且,由于透射电子显微镜同时具有刻蚀与成像的能力,通过特殊的样品杆与电学测量设备,可以实现实时测量刻蚀过器件的输运性质.此外,透射电子显微镜的刻蚀与电学表征都处于高真空环境中,这样可以避免样品暴露到空气中带来的污染或者成分改变.另外,由于对同个样品可以进行多次刻蚀和原位电学性质测量,这样就可以在同个样品上研究性质与尺寸的关系.