利用液相沉积法制备氧化物抗反射薄膜于硅基太阳电池之应用

摘要

太阳电池成本一直居高不下,如此一来,要使太阳电池成本降低,须提出几个方案解决,因此本研究利用液相沉积法开发抗反射薄膜制程技术,进而取代PECVD制备抗反射薄膜之技术,其目的是降低太阳电池制造成本,以达到太阳电池于生活中的普及率.本研究利用液相沉积法搭配六氟钛酸铵和硼酸于硅基板上制备二氧化钛抗反射薄膜，并应用于太阳电池上。液相沉积法为低温制程、具选择性沉积、大面积生产、薄膜成分容易调整，以及可批次量产等优点。在最佳制程条件下，制程温度60度以及硼酸浓度0.6M下，波长范围为400～800nm下，平均反射率为5.52%，而二氧化钛抗反射薄膜应用于6时多晶硅太阳电池上，其光电转换效率可达15.93%。