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氮化硅固态纳米孔的制备和加工

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纳米孔检测方法已经成为一种可信赖的单分子检测技术.快速的、大批量加工的方法可以使得纳米孔技术得到推广.本文给出了一种制作纳米孔芯片的方法.自主设计并加工了膜厚为100nm的纳米孔氮化硅自支撑膜芯片.探究了使用双束型聚焦离子束加工纳米孔的孔径范围和具体参数.结果表明可以通过双束型聚焦离子束稳定的加工出孔径在25nm及以上孔径的圆形纳米孔.

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来源
《2016生物电子学与生物光子学联合学术论坛》||188-191|共4页
会议地点南京
作者
谷德健; 朱立博; 陈彬宇; 吕郦家; 刘全俊;
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作者单位

中国电子学会;

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正文语种
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中图分类
关键词
自支撑膜芯片; 纳米孔氮化硅; 制备工艺;

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