基于硅衬底氮化镓的圆盘定向耦合器件

摘要

不同耦合方式的研究对于光子回路的构建有着重要的意义.在这部分工作中,将采用标准的半导体工艺,在硅衬底氮化镓上设计和制备一种圆盘耦合器件.利用特殊的波导形状配合圆盘增加耦合的效率,达到改变光传播方向的目的;同时通过模拟研究其出光效率最高的角度,以此来作为构建更复杂光子回路的基础.