迅立光电设备有限公司隆重推出100兆瓦晶硅背钝化设备

摘要

设备总览及特点该设备简洁紧凑,运行高效稳定,可实现目标节拍27秒,薄膜厚度均匀性5％,该连续式PECVD设备,能一次性完成ALOx和SINx的背钝化镀膜工艺,形成3200片/小时的高效太阳能电池生产能力,达100MW的年产能.专利设计“GAS ISOLATION”可以在同一真空腔室内连续完成两种或三种膜层沉积，而不需要机械式门阀隔离不同工艺。