TDDB和热载流子可靠性综合评价模型

摘要

该文首先简要介绍了TDDB和热载流子的理论模型，然后提出了一个在MOS器件中综合评价TDDB和热载流子效应的新方法，推导了该方法应用的数学模型，为综合评估VLSI电路各种可靠性的影响探索了一条新路。