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用于无线通信的微机械电感研究

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本文给出了利用MEMS方法制作微型电感的初步研究结果.在分析了影响平面螺旋线圈电感值的主要因素,计算了几种不同几何参数下平面螺旋线圈的电感值后,给出了一种新型的微机械平面电感设计方案.

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来源
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》|2000年|227-229|共3页
会议地点上海
作者
丁勇; 刘泽文; 刘理天; 李志坚;
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作者单位

上海交通大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类通信系统（传输系统）;自动化技术、计算机技术;
关键词
电感; 微机械电感; 平面螺旋线圈; 微电子机械系统; MEMS;

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