涡旋真空泵的工作过程模拟

摘要

本文根据平行平板间稀薄气体的流动理论,建立了涡旋真空泵压缩腔的气体泄漏、压力分布和传热模型,通过上述模型的数值计算对涡旋真空泵工作过程进行了模拟，其计算结果与相关实验比较、验证,趋势基本一致。