涡旋式真空泵——无油真空泵的发展趋势

摘要

涡旋真空泵具有简单，密封性有好，极限真空高（可达５×１０＾－１Ｐａ）等优点。作为一种高新技术产品，它不易仿制，目前在国外，仅有少数几个公司有产品问世。本文从涡旋真空泵工作原理出发，研究了型线与密封机构，在型结构及特点进行分析，可以预言。