微系统技术与超高密度信息存储

摘要

信息微系统技术已经成为MEMS领域里十分活跃的方向之一,它将对包括信息获取、信息存储和信息传输在内的现代信息技术的广泛领域产生十分重要的影响.比如用于信息获取的微型传感器、用于无线通讯的射频微器件、用于光通讯的微光学开关、用于信息输出的超精细彩色喷墨打印头、和用于下一代信息存储的扫描探针信息存取技术等都有非常重要的应用前景.文章综述了国内外信息存储技术发展现状,系统介绍我们近年来在基于压电微探针阵列的超高密度信息存取技术上所取得的进展.