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新型压阻式CMOS集成加速度计的研制

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主要论述了一种具有温度补偿的新型高精度、高过载复合硅加速度计的结构及工作原理,并对研制这种集成加速度计的关键工艺艺以及与之集成的CMOS电路部分进行了探讨.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|358-360371|共4页
会议地点重庆
作者
贾景彬; 刘蓓; 张威; 李婷; 张大成;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺;
关键词
MEMS; 加速度计; 集成加速度计; 梁、压阻式; CMOS; 温度补偿;

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