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基于微细加工技术的栅距可变光栅的研究

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摘要

描述了基于硅基微加工技术,用深层刻蚀工艺制造栅距可变的光栅的方法.该光栅具有加工艺简单,栅距均匀可调等优点,可望用于光通讯用红外滤波器.利用形状记忆合金执行器来驱动,其连接机构简单,易于控制,衍射实验结果表明折射角最大变化率可达0.35mrad.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|369-371|共3页
会议地点重庆
作者
李以贵; 陈迪;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类集成光学器件;制造工艺;
关键词
微细加工; 栅距可变光栅; 形状记忆合金; 无源光器件; 光波光栅路由器;

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