一种新的三轴差分电容式加速度计

摘要

介绍了一种新型的全差分三轴电容式加速度计的设计和加工工艺,设计的加速度计具有三个共用同一玻璃衬底的惯性质量,分别用于检测三个垂直方向的加速度.用有限元分析工具ANSYS对器件进行了模拟,模拟结果显示出在谐振频率相同的工作模态下,X、Y和Z轴方向的灵敏度分别为21 fFg<'-1>,21fFg<'-1>和20fFg<'-1>及.采用硅/玻璃阳极键合工艺和ICP深反应离子腐蚀工艺相结合的加工方法使得器件的制作非常简单.