多晶硅酸腐蚀表面织构的研究

摘要

本文采用HF和HNO<,3>为腐蚀液,在不同温度、添加剂和超声振蒎三种情况下来进行多晶硅酸腐蚀表面织构实验研究,发现:通过超声振荡,在单位面积上腐蚀坑密度较大.在1min、HF:HNO<,3>=12:1的腐蚀条件下,25℃时加Br<,2>添加剂用超声震荡的方式得到较好的腐蚀效果.腐蚀坑的分布比较均匀,单位面积腐蚀坑较多,而且呈收缩型,这将有利于入射光的多次反射,获得较好的表面减反射效果.