二次离子质谱研究低能离子注入生物体的深度和浓度分布

摘要

本文主要介绍和讨论使用SIMS.SEM.MS.ICP和x射线能谱等技术对低能重金属离子注入生物体进行深度和浓度测试,重点讨论分析方法带来的问题.通过研究表明SIMS对离子注入生物体进行深度分析和测定,完全可以排除分析方法带来的误差,完成注入离子的深度定标和浓度分布测试.