结构参数对硅热流量传感器热性能的影响

摘要

基于作者所在实验室研制的硅热流量传感器,给出了其有限元模型.在分析其工作原理的基础上,重点给出了传感器各项性能,如灵敏度、流速量程、输出大小等,和传感器设计尺寸及流体沟道的关系;最后,给出了关于传感器尺寸的优化的结论.